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密西根大学通过串联18个气体微泵增强压力_买球app官方网站
时间:2021-07-09 来源:买球app官网 浏览量 24196 次
本文摘要:美国密西根大学(UniversityofMichigan)无线构建微系统中心(CenterforWirelessIntegratedMicroSystems,WIMS)批量生产了由18个气体用微泵串联而出的MEMS元件,并在“MEMS2007”上公开发表了该元件的简要(1月24日的Sessions9)。

美国密西根大学(UniversityofMichigan)无线构建微系统中心(CenterforWirelessIntegratedMicroSystems,WIMS)批量生产了由18个气体用微泵串联而出的MEMS元件,并在“MEMS2007”上公开发表了该元件的简要(1月24日的Sessions9)。  SiMEMS技术生产的气体用微泵需要普遍应用于环境探测器、生物信息探测器、气体传感器、呼气传感器、微型燃料电池单元等领域。WIMS现在正在利用微泵,研发超小型气相色谱仪。

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但是,由于现有微泵的流量和压力较低,无法超过气相色谱拒绝的标准。  因此,WIMS使用了将多个微泵直列串联,通过微阀和泵的同步工作提升压力的方式。

泵和阀使用有机高分子凝对二甲苯(Parylene)薄膜生产,利用静电力驱动。WIMS分别批量生产了2级、4级、18级串联泵,并对工作性能展开了测量。

测量的*大压力分别为2.5kPa、7.0kPa、17.5kPa,*大流量分别为2.1sccm、3.0sccm、4.0sccm。  18级串联泵的尺寸为25.1mm×19.1mm×1mm。耗电量为57mW。

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驱动电压为±100V。驱动频率为17kHz。


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